超纯水清洗电子设备

超纯水设备中的EDI流量计采用带磁感应浮子流量计，可预防因浓水通道堵塞或其他设备故障引起的无浓水产水而对膜堆造成的损坏。

晶圆清洗机是半导体集成电路制造的四大设备之一，中国早已攻克了除光刻机以外的其他三种设备随着2020年下半年开始的芯片短缺。