等离子清洗设备的反应室主要分为感应耦合“桶式”反应室电容耦合“平行平板”反应室“顺流”反应室三种目前国内集成电路；此外，“石墨舟等离子干法清洗技术属于新工艺替换，也是行业内的创新我们现已向有行业头部客户提供demo机服务，设备整体表。等离子清洗设备简介射频等离子清洗设备的原理是先产生真空，在真空状态下，压力越来...