1、a确认关闭主泵球阀和真空泵，在放油单晶炉上挂检修牌，将废油桶置于真空泵放油口下方，打开上下腔放油开关，放完油后关闭上下腔放油阀，废油倒入指定油桶b清洗真空泵每5炉清洗一次，用扳手打开真空泵侧盖，置于适当位置，用毛巾彻底清理真空泵腔侧盖和下腔滤油网的油污，清洗完毕后，安装好滤网，安装好侧；3废油应倒入指定废油...