Track是半导体制造中的一种设备，主要用于芯片的湿法处理Track通常由多个处理单元组成，包括清洗单元蚀刻单元涂胶单元等Track的主要作用是对芯片表面进行各种湿法处理，如去除污染物沉积化学品涂覆光刻胶等，以便后续的光刻蚀刻等工艺步骤能够正确地进行Scanner则是半导体制造中的另一种设备，主。槽式湿法刻蚀清洗...